光導波路素子の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 川口 竜生; 今枝 美能留 |
| 发表日期 | 1999-06-18 |
| 专利号 | JP1999160560A |
| 著作权人 | 日本碍子株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路素子の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】基板からパターン転写された強誘電体単結晶薄膜の反転部と非反転部との分極境界壁がほぼ平行な状態を呈し、極めて短い周期の分極反転パターンの強誘電体単結晶薄膜を有する光導波路素子の製造方法を提供する。 【解決手段】強誘電体結晶基板上に、液相エピタキシャル法によって、周期的に分極が反転した強誘電体単結晶薄膜を形成して、周期状分極反転構造を有する光導波路素子を製造する方法において、前記強誘電体結晶基板の分極軸を前記強誘電体結晶基板の基板表面の法線方向から傾けた状態で、前記強誘電体単結晶薄膜を液相エピタキシャル法によって形成し、前期周期状分極反転構造を略平行な状態で安定化させることを特徴とする、光導波路素子の製造方法である。 |
| 公开日期 | 1999-06-18 |
| 申请日期 | 1997-11-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/74378]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 日本碍子株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 川口 竜生,今枝 美能留. 光導波路素子の製造方法. JP1999160560A. 1999-06-18. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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