β-SiC薄膜的生长速率及电阻温度特性
文献类型：会议论文
| 作者 | 张清 ; 夏非 |
| 出版日期 | 1990-11 |
| 会议名称 | 第三次全国功能陶瓷学术会议 |
| 会议日期 | 1990-11 |
| 会议地点 | 苏州 |
| 关键词 | 金刚砂 薄膜生长 生长速率 电阻 温度 |
| 会议主办者 | 中国电子学会 |
| 会议录 | 第三次全国功能陶瓷学术会议论文集
 |
| 会议录出版者 | 中国电子学会 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/69600]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张清,夏非. β-SiC薄膜的生长速率及电阻温度特性[C]. 见:第三次全国功能陶瓷学术会议. 苏州. 1990-11. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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