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一种大功率量子阱半导体激光器外延片结构

文献类型:专利

作者潘旭; 张露; 吴波; 张小宾; 杨翠柏
发表日期2016-06-01
专利号CN105633797A
著作权人中山德华芯片技术有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种大功率量子阱半导体激光器外延片结构
英文摘要本发明公开了一种大功率量子阱半导体激光器外延片结构,包括有n-GaAs衬底,在n-GaAs衬底上由下至上依次外延生长n-GaAs缓冲层、n-AlxGa1-xAs组分渐变层、n-AlxGa1-xAs下限制层、AlxGa1-xAs下波导层、AlxGa1-xAs下势垒层、量子阱有源层、AlxGa1-xAs上势垒层、AlxGa1-xAs上波导层、p-AlxGa1-xAs上限制层、p-AlxGa1-xAs组分渐变层、p-GaAs顶层;AlxGa1-xAs上波导层的厚度小于AlxGa1-xAs下波导层的厚度,量子阱有源层中包含一个AlxGa1-xAs双势垒阻挡层,p-AlxGa1-xAs上限制层、p-AlxGa1-xAs组分渐变层、p-GaAs顶层中的掺杂剂为四溴化碳或者四氯化碳。本发明可以降低激光器激射波长线宽,减少电子散失,提高有源区内电子与空穴的辐射复合效率。
公开日期2016-06-01
申请日期2016-03-22
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/75486]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中山德华芯片技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
潘旭,张露,吴波,等. 一种大功率量子阱半导体激光器外延片结构. CN105633797A. 2016-06-01.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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