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半導体レーザ素子の製造方法

文献类型:专利

作者宮▲嵜▼ 啓介; 兼岩 進治
发表日期2002-01-18
专利号JP3270815B2
著作权人シャープ株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体レーザ素子の製造方法
英文摘要【課題】 コストダウンが図れ、しかも電気的特性及び光学的特性の劣化を防止でき、信頼性を向上できる半導体レーザ素子を提供する。 【解決手段】 ビーム径φ0mmのレーザビーム30を、導波路となるストライプ幅4.0μm置きに走査させながら、TMGとSi2H6を流し、n型GaAsブロック層を0.6μmの厚みに成長させる。
公开日期2002-04-02
申请日期1996-10-01
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76273]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位シャープ株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
宮▲嵜▼ 啓介,兼岩 進治. 半導体レーザ素子の製造方法. JP3270815B2. 2002-01-18.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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