光モジュール及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 松本 啓資; 渡辺 斉; 境野 剛 |
| 发表日期 | 1996-11-22 |
| 专利号 | JP1996304670A |
| 著作权人 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光モジュール及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 位置合わせなしに光導波路を形成できる光モジュールを得ることを目的としている。 【構成】 半導体基板10に、レーザダイオード11を形成し、レーザ共振器端面13をドライエッチングにより形成したのち、第1〜第3の誘電体薄膜15、16、17を順次形成し、レーザダイオード11の発光部12を目印として、第1〜第3の誘電体薄膜を光導波路形状に加工する。 【効果】 光に対する損失が小さい誘電体薄膜を用いて、光軸合わせの調整なしに光導波路が形成できる。 |
| 公开日期 | 1996-11-22 |
| 申请日期 | 1995-05-01 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76291]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 松本 啓資,渡辺 斉,境野 剛. 光モジュール及びその製造方法. JP1996304670A. 1996-11-22. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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