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半導体レーザ

文献类型:专利

作者中村 幸治; 八重樫 浩樹; 中島 徹人; 堀川 英明
发表日期1997-02-07
专利号JP1997036476A
著作权人沖電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ
英文摘要【目的】 発振横モード(垂直方向)が単一になるようになし、発振損失を低減し、高効率、高光出力を得ることができる半導体レーザを提供する。 【構成】 n-GaAs基板1上にn-InGaPクラッド層2、活性層3、p-InGaPクラッド層4を結晶成長した後、ストライプSiO2 マスクを形成し、メサエッチングを行う。次に、メサの両側の電流ブロック層として、p-InGaP層5、n-InGaP層6で埋め込み、SiO2 マスクをエッチングした後、p-InGaP層クラッド7、p+ -GaAsコンタクト層8を成長させる。この時、活性層3上のp+ -GaAsコンタクト層8を、幅1〜3μm程度のストライプ状にエッチングし取り除く。p側オーミック電極9と、n側オーミック電極10を蒸着により形成し、適切な条件でアニールする。
公开日期1997-02-07
申请日期1995-07-18
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76488]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位沖電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
中村 幸治,八重樫 浩樹,中島 徹人,等. 半導体レーザ. JP1997036476A. 1997-02-07.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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