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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者村上 隆志
发表日期1993-01-22
专利号JP1993013876A
著作权人三菱電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【目的】 高出力動作可能な埋込型半導体レーザ構造を再現性良く得ることができる製造方法を提供する。 【構成】 1回目の結晶成長工程で、n-InP上クラッド層4上にn-AlGaInAs層を成長させ、このn-AlGaInAs層を埋込成長の際の選択成長マスクとして利用する。
公开日期1993-01-22
申请日期1991-07-04
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76544]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
村上 隆志. 半導体レーザの製造方法. JP1993013876A. 1993-01-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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