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半導体レーザ

文献类型:专利

作者本多 正治; 池上 隆俊; 藪内 隆稔; 三宅 輝明; 中島 健二
发表日期1997-06-06
专利号JP1997148667A
著作权人三洋電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ
英文摘要【課題】 薄膜成長で格子不整合を生じ素子劣化をさせたり、それを未然に防ぐために一定期間素子製造を行った後に、定期的に成長装置を成膜特性の確認のためだけに厚膜成長させ、素子製造と異なるプロセスで煩雑な作業を繰り返し、また材料も無駄にすることとなった。 【解決手段】 基板の上にバッファ層を形成し、そのバッファ層の上に4元系のクラッド層を形成し、そのクラッド層の下もしくはクラッド層の中に特定組成のモニタ層を厚膜成長させ、クラッド層の上に特定組成の薄膜を光ガイド層もしくは障壁層として積層し量子井戸型の活性層や光ガイド層をさらに積層する。モニタ層は上側クラッド層に設けてもよい。
公开日期1997-06-06
申请日期1995-11-22
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76903]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
本多 正治,池上 隆俊,藪内 隆稔,等. 半導体レーザ. JP1997148667A. 1997-06-06.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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