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半導体発光素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者小出 典克; 浅見 慎也; 梅崎 潤一; 小池 正好; 山崎 史郎; 永井 誠二
发表日期1998-05-22
专利号JP1998135514A
著作权人豊田合成株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光素子及びその製造方法
英文摘要【課題】 超格子構造の発光層の上にクラッド層等の半導体層を形成するとき発光層の最上層にくるバリア層の表面が消失し、当該バリア層が薄くなって発光波長がシフトする。 【解決手段】 第1の半導体層を形成し、該第1の半導体層の上にInY1Ga1-Y1N(Y1≧0)からなるバリア層、InY2Ga1-Y2N(Y2>Y1かつY2>0)からなる量子井戸層を積層して超格子構造の発光層を形成し、該発光層の上に第2の半導体層を形成する半導体発光素子の製造方法において、前記発光層の最上層となる最上バリア層を他のバリア層よりも厚く形成する。そして、第2の半導体層を形成するとき、最上バリア層の上面を消失させてその厚さを他のバリア層の厚さと実質的に同一とする。
公开日期1998-05-22
申请日期1996-10-22
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77569]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位豊田合成株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小出 典克,浅見 慎也,梅崎 潤一,等. 半導体発光素子及びその製造方法. JP1998135514A. 1998-05-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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