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半導体レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者高岡 圭児; 櫛部 光弘; 阪口 眞弓; 古山 英人
发表日期1994-04-08
专利号JP1994097603A
著作权人株式会社東芝
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ及びその製造方法
英文摘要【目的】 活性層への深い準位を形成する不純物の拡散を抑制することができ、かつ良質の再成長界面を形成することができ、内部量子効率の低下及びリーク電流の低減をはかり得る半導体レーザ提供すること。 【構成】 活性領域の側面を電流狭窄で埋め込んだ埋込み型半導体レーザにおいて、n型InP基板11上に形成されたn型InPクラッド層18と、このクラッド層18上にストライプ状に形成されたInGaAsP活性層17と、この活性層17の側面及び上面を覆うように形成されたp型InPクラッド層16と、クラッド層16,18を選択エッチングして形成され内部に活性層17のストライプを有するメサストライプと、このメサストライプの側面に埋め込み形成されたFeドープの高抵抗層12とを具備してなることを特徴とする。
公开日期1994-04-08
申请日期1992-09-14
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77610]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社東芝
推荐引用方式
GB/T 7714
高岡 圭児,櫛部 光弘,阪口 眞弓,等. 半導体レーザ及びその製造方法. JP1994097603A. 1994-04-08.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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