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半導体レーザ

文献类型:专利

作者日高 建彦; 平田 隆昭; 飯尾 晋司; 末広 雅幸; 立川 義彦
发表日期1996-05-17
专利号JP1996125265A
著作权人AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ
英文摘要【目的】電子ビーム露光法の最小描画単位の問題で180度位相シフトが作製できない場合でも、疑似的に周期的な180度位相シフトの設けられた回折格子を得る。 【構成】周期的に位相シフトが設けられた回折格子を持つ半導体レーザにおいて、位相シフト量が異なる2種類の位相シフトを交互に設けると共に前記2種類の位相シフト量の和が360度になるように構成する。
公开日期1996-05-17
申请日期1994-10-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77817]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
推荐引用方式
GB/T 7714
日高 建彦,平田 隆昭,飯尾 晋司,等. 半導体レーザ. JP1996125265A. 1996-05-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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