半導体発光素子の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 嶋崎 武; 木戸口 勲; 足立 秀人; 田中 清武; 熊渕 康仁 |
| 发表日期 | 1997-10-07 |
| 专利号 | JP1997266348A |
| 著作权人 | MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 半導体発光素子の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】 半導体レーザへの端面コートを確実に、しかも効率良く行うための方法を提供する。 【解決手段】 半導体レーザをバー101の状態に加工して整列治具102に整列する。ECRプラズマCVDを用いて半導体レーザの端面コート材料を堆積する。この工程で、ランプヒータ103を用いて処理面とは反対側の面から約200℃に加熱することよって、堆積膜の電極面への堆積を防止する。 |
| 公开日期 | 1997-10-07 |
| 申请日期 | 1996-03-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/78016]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 嶋崎 武,木戸口 勲,足立 秀人,等. 半導体発光素子の製造方法. JP1997266348A. 1997-10-07. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。