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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者古沢 浩太郎; 茨木 晃; 林 伸彦; 松川 健一; 三宅 輝明; 後藤 壮謙
发表日期2001-09-21
专利号JP3234310B2
著作权人三洋電機株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【目的】 信頼性が高いリッジ型埋め込み半導体レーザを製造する。 【構成】 p型クラッド層6,p型キャップ層7からなるリッジ部を含む全域にn型ブロック層8を成長させた後(d)、n型ブロック層をポリッシングし(e)、その後n型ブロック層8へのp型不純物の拡散によりp型コンタクト層19を形成する(f)。または、(d)の工程後、リッジ部上方のn型ブロック層8のみをエッチング除去し、その後全域にp型コンタクト層を形成する。
公开日期2001-12-04
申请日期1992-11-26
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/78579]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
古沢 浩太郎,茨木 晃,林 伸彦,等. 半導体レーザの製造方法. JP3234310B2. 2001-09-21.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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