Liquid phase epitaxial device
文献类型:专利
作者 | AYABE MASAAKI |
发表日期 | 1977-05-13 |
专利号 | JP1977058361A |
著作权人 | SONY CORP |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | Liquid phase epitaxial device |
英文摘要 | PURPOSE:To obtain a liquid phase epitaxial device which is capable of growing epitaxial layers of good crystallinity and even thickness. |
公开日期 | 1977-05-13 |
申请日期 | 1975-11-07 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/78758] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | SONY CORP |
推荐引用方式 GB/T 7714 | AYABE MASAAKI. Liquid phase epitaxial device. JP1977058361A. 1977-05-13. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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