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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者後藤 修; 中村 幸治; 中島 徹人; 堀川 英明
发表日期1996-11-01
专利号JP1996288589A
著作权人沖電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【目的】 上側クラッド層およびコンタクト層中に転位が少なく、かつ電流ブロック層中にV字形の溝が生じない半導体レーザの製造方法を提供する。 【構成】 第1および第2副電流ブロック層28および30を、基板温度を750〜800℃の範囲とし、およびV族ガスのホスフィン(PH3)ガスとIII族ガスのトリメチルインジウム(TMIn)およびトリメチルガリウム(TMGa)との混合比(V族/III族)を400〜800の範囲として形成する。
公开日期1996-11-01
申请日期1995-04-20
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/79064]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位沖電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
後藤 修,中村 幸治,中島 徹人,等. 半導体レーザの製造方法. JP1996288589A. 1996-11-01.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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