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半導体レーザ素子

文献类型:专利

作者松原 邦雄; 北村 祥司; 進藤 洋一
发表日期1994-12-22
专利号JP1994350188A
著作权人富士電機株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子
英文摘要【目的】第3クラッド層の幅寸法の精度を上げ、発振開始しきい値電流を安定させる。 【構成】基板,第1クラッド層,活性層,第2クラッド層,第3クラッド層,第4クラッド層,コンタクト層の順に積層し、ストライプ状のメサ部を形成した第3クラッド層の両側面に、電流狭窄層を埋め込んだ構造の半導体レーザ素子であり、とくに第3クラッド層の厚さを、0.2〜0.5μmの範囲に小さくし、製造に当たって、従来コンタクト層も含めて5μm程度であったエッチング深さを浅くしたために、第3クラッド層を精度よく所望の幅寸法にすることができ、第3クラッド層の厚さを薄くしたことに対して、3回目の成長過程で第4クラッド層とコンタクト層を形成することにより、レーザ光の発振を安定させている。
公开日期1994-12-22
申请日期1993-06-04
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/79468]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
松原 邦雄,北村 祥司,進藤 洋一. 半導体レーザ素子. JP1994350188A. 1994-12-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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