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窒化ガリウム系化合物半導体レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者石川 正行; 山本 雅裕; 布上 真也; 西尾 譲司; 波多腰 玄一; 藤本 英俊
发表日期1998-04-10
专利号JP1998093192A
著作权人TOSHIBA CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名窒化ガリウム系化合物半導体レーザ及びその製造方法
英文摘要【課題】 活性層へのキャリア注入を効率的に行うと共に、電極コンタクト等での電圧降下を抑制することができ、低しきい値、低電圧で動作し、高い信頼性を達成する。 【解決手段】 窒化ガリウム系化合物半導体レーザは、サファイア基板10上に、活性層14をクラッド層13、15で挟んだダブルヘテロ接合構造を有する。p-クラッド層15の上にストライプ状の開口部を有するGaN電流ブロック層16が形成される。更に、電流ブロック層16の開口部へ電流を注入し、該開口部よりも面積の広いp-GaNの埋込み層17及びコンタクト層18が形成される。活性層14はバンドギャップエネルギーが異なり、それぞれの厚さが10nm以下の2種類のInGaAlN層の繰り返しで構成される周期構造からなる多重量子井戸(MQW)構造を有する。
公开日期1998-04-10
申请日期1997-07-15
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/81071]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位TOSHIBA CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
石川 正行,山本 雅裕,布上 真也,等. 窒化ガリウム系化合物半導体レーザ及びその製造方法. JP1998093192A. 1998-04-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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