II-VI族化合物半導体の成長方法
文献类型:专利
作者 | 石橋 晃; 伊藤 哲; 松元 理; 白石 誠司; 湊屋 理佳子; 樋江井 太 |
发表日期 | 1995-10-20 |
专利号 | JP1995273054A |
著作权人 | SONY CORP |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | II-VI族化合物半導体の成長方法 |
英文摘要 | 【目的】 キャリア濃度が十分に高いp型のII-VI族化合物半導体あるいは低欠陥密度で結晶性に優れたII-VI族化合物半導体を成長させることを可能とする。 【構成】 GaAs基板などの半導体基板上にp型のII-VI族化合物半導体を分子線エピタキシー法などにより気相成長させるときに、{100}面から〈01-1〉方向に小さな角度だけオフした主面、〈011〉方向に小さな角度だけオフした主面または〈01-1〉方向に小さな角度だけオフし、さらに〈011〉方向に小さな角度だけオフした主面を有する半導体基板1を用いる。低欠陥密度のII-VI族化合物半導体を成長させるためには、特に、{100}面から〈01-1〉方向に小さな角度だけオフした主面を有する半導体基板1を用いる。 |
公开日期 | 1995-10-20 |
申请日期 | 1994-11-28 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82012] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | SONY CORP |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 石橋 晃,伊藤 哲,松元 理,等. II-VI族化合物半導体の成長方法. JP1995273054A. 1995-10-20. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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