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II-VI族化合物半導体の成長方法

文献类型:专利

作者石橋 晃; 伊藤 哲; 松元 理; 白石 誠司; 湊屋 理佳子; 樋江井 太
发表日期1995-10-20
专利号JP1995273054A
著作权人SONY CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名II-VI族化合物半導体の成長方法
英文摘要【目的】 キャリア濃度が十分に高いp型のII-VI族化合物半導体あるいは低欠陥密度で結晶性に優れたII-VI族化合物半導体を成長させることを可能とする。 【構成】 GaAs基板などの半導体基板上にp型のII-VI族化合物半導体を分子線エピタキシー法などにより気相成長させるときに、{100}面から〈01-1〉方向に小さな角度だけオフした主面、〈011〉方向に小さな角度だけオフした主面または〈01-1〉方向に小さな角度だけオフし、さらに〈011〉方向に小さな角度だけオフした主面を有する半導体基板1を用いる。低欠陥密度のII-VI族化合物半導体を成長させるためには、特に、{100}面から〈01-1〉方向に小さな角度だけオフした主面を有する半導体基板1を用いる。
公开日期1995-10-20
申请日期1994-11-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82012]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位SONY CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
石橋 晃,伊藤 哲,松元 理,等. II-VI族化合物半導体の成長方法. JP1995273054A. 1995-10-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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