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半導体レーザ素子とその製造方法

文献类型:专利

作者土井 健嗣
发表日期2000-09-29
专利号JP2000269606A
著作权人NEC CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザ素子とその製造方法
英文摘要【課題】 Zn拡散型ウィンドウ構造の可視光半導体レーザにおいて、励起領域へのZnの拡散を抑制し、品質の低下を防止して発光効率の高い半導体レーザ素子を得る。 【解決手段】 半導体基板上にクラッド層130、歪補償多重量子井戸構造の活性層110、クラッド層120を有し、かつその端部にはZn拡散領域230が形成されてウィンドウ構造の半導体レーザとする。活性層110を歪補償多重量子井戸構造とすることで、Zn拡散のための熱処理を低温かつ短時間にすることができ、励起領域へのZnの拡散を抑制して品質の低下を防ぎ、これにより発光効率の高い、特性の良好なZn拡散型ウィンドウ構造の可視光半導体レーザ素子が作製可能となる。
公开日期2000-09-29
申请日期1999-03-12
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82959]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NEC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
土井 健嗣. 半導体レーザ素子とその製造方法. JP2000269606A. 2000-09-29.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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