Enhancement effect of patterning resolution induced by Al thermal conduction layer with AgInSbTe as laser thermal lithography film
文献类型：期刊论文
| 作者 | Li H(李豪) ; Wang R(王睿) ; Geng YY(耿永友) ; Wu YQ(吴谊群) ; Wei JS(魏劲松) |
| 刊名 | chinese physics letters
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 29期号:7 |
| 关键词 | Chinese Physics Letters |
| 通讯作者 | 吴谊群 |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2013-09-09 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11041]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Li H,Wang R,Geng YY,et al. Enhancement effect of patterning resolution induced by Al thermal conduction layer with AgInSbTe as laser thermal lithography film[J]. chinese physics letters,2012,29(7). |
| APA | Li H,Wang R,Geng YY,Wu YQ,&Wei JS.(2012).Enhancement effect of patterning resolution induced by Al thermal conduction layer with AgInSbTe as laser thermal lithography film.chinese physics letters,29(7). |
| MLA | Li H,et al."Enhancement effect of patterning resolution induced by Al thermal conduction layer with AgInSbTe as laser thermal lithography film".chinese physics letters 29.7(2012). |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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