AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李豪 ; 耿永友 ; 吴谊群 |
| 刊名 | 无机材料学报
 |
| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 27期号:6页码:620-626 |
| 关键词 | AgInSbTe |
| 通讯作者 | 吴谊群 |
| 收录类别 | SCI |
| 公开日期 | 2013-09-09 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/11043]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高密度光存储技术实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李豪,耿永友,吴谊群. AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性[J]. 无机材料学报,2012,27(6):620-626. |
| APA | 李豪,耿永友,&吴谊群.(2012).AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性.无机材料学报,27(6),620-626. |
| MLA | 李豪,et al."AgInSbTe相变薄膜的热刻蚀腐蚀特性".无机材料学报 27.6(2012):620-626. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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