sp~2含量与团簇尺寸调控对非晶碳薄膜光电性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李昊; 郭鹏; 张栋; 陈仁德; 左潇; 柯培玲; 斋藤秀俊; 汪爱英 |
| 出版日期 | 2019-11-15 |
| 页码 | 1 |
| 英文摘要 | 作为一种非晶半导体材料,非晶碳(a-C)薄膜具有宽光谱透过率、高抗激光损伤阈值、可在准金属与绝缘体之间变化的电学特性,具有比传统Si材料更优异的机械性能,可用于制作压阻传感器、场发射电极、红外探测和光学窗口等光电器件。为了研究sp2/sp3比值和sp2团簇尺寸对光电性能的影响,我们采用磁控溅射方法制备了一系列无氢非晶碳薄膜,研究了沉积温度对其结构和光电性能的影响。结果表明,所有薄膜在紫外和可见光波段均表现出较强的光吸收,在200～750nm波长范围内透过率小于5%,且在5～350k温度范围内表现出典型的半导体特性,即在较高温度下有着较低的电阻率。此外,随着沉积温度的升高,它们的透射率、光学带隙、电阻率和活化能都呈现出相似的变化趋势,这与a-C薄膜中sp2/sp3比值和sp2团簇的尺寸变化有着紧密的联系。本文为a-C薄膜的光电应用提供了一条新的调控薄膜光电性能的思路。 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/17609]  |
| 专题 | 2019专题 |
| 作者单位 | 1.中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室浙江省海洋材料与防护技术重点实验室 2.中国科学院大学材料与光电研究中心 3.长冈技术科学大学工程研究生院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李昊,郭鹏,张栋,等. sp~2含量与团簇尺寸调控对非晶碳薄膜光电性能的影响[J],2019:1. |
| APA | 李昊.,郭鹏.,张栋.,陈仁德.,左潇.,...&汪爱英.(2019).sp~2含量与团簇尺寸调控对非晶碳薄膜光电性能的影响.,1. |
| MLA | 李昊,et al."sp~2含量与团簇尺寸调控对非晶碳薄膜光电性能的影响".(2019):1. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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