模拟MEMS中气体流动的工具——信息保存法
文献类型：会议论文
| 作者 | 沈青
|
| 出版日期 | 2003 |
| 会议名称 | 2003空气动力学前沿研究学术研讨会 |
| 会议日期 | 2003 |
| 会议地点 | 北京 |
| 通讯作者邮箱 | shenc@imech.ac.cn |
| 页码 | 585 |
| 通讯作者 | 沈青 |
| 中文摘要 | MEMS中气体流动因特征尺度小而是稀薄气体的领域,本文首先介绍处理低速稀薄气体流动的一些方法:线化Boltzmann方程,Lattice Boltzmann方法,加滑移边界的Navier-Stoks方程,以及DSMC方法,并讨论它们模拟MEMS中过渡领域低速流动所遇到的困难。信息保存法克服了流速低使得信息噪声比小引起统计模拟的困难,已成功模拟了一些一维和二维问题。MEMS中流速低和大的长宽比的特点还引起出入口边界条件相互影响需要协调的问题,通过微槽道流动的算例,在模拟中采用守恒形式的质量守恒方程和超松弛法成功地解决了这一问题。处理有温度变化的MEMS流动问题和跨越领域的混合算法是重要的问题,本文用信息保存法也进行了有益的尝试。 |
| 收录类别 | 其他 |
| 合作状况 | 其它 |
| 会议录 | 2003空气动力学前沿研究论文集
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| 会议录出版者 | 中国宇航出版社 |
| 学科主题 | 空气动力学 |
| 会议录出版地 | 北京 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/28673]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 通讯作者 | 沈青 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 沈青. 模拟MEMS中气体流动的工具——信息保存法[C]. 见:2003空气动力学前沿研究学术研讨会. 北京. 2003. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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