numericalsimulationofonedimensionalatomlithography
文献类型：期刊论文
| 作者 | He Ming; Li Ruohong; Wang Xiaorui; Wang Jin; Zhan Mingsheng |
| 刊名 | 计算物理
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 021期号:003页码:327 |
| ISSN号 | 1001-246X |
| 英文摘要 | 通过直接的数值模拟，分析了原子束在激光驻波场下传播的动力学行为．估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小，同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度：如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等． |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.wipm.ac.cn/handle/112942/16220]  |
| 专题 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | He Ming,Li Ruohong,Wang Xiaorui,et al. numericalsimulationofonedimensionalatomlithography[J]. 计算物理,2004,021(003):327. |
| APA | He Ming,Li Ruohong,Wang Xiaorui,Wang Jin,&Zhan Mingsheng.(2004).numericalsimulationofonedimensionalatomlithography.计算物理,021(003),327. |
| MLA | He Ming,et al."numericalsimulationofonedimensionalatomlithography".计算物理 021.003(2004):327. |
入库方式： OAI收割
来源：武汉物理与数学研究所
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