化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹金祥1; 高克林2; 邹祖平1; 詹如娟1; 项志遴1 |
| 刊名 | 核聚变与等离子体物理
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 卷号 | 012期号:003页码:186 |
| ISSN号 | 0254-6086 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.wipm.ac.cn/handle/112942/19387]  |
| 专题 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学技术大学 2.中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹金祥,高克林,邹祖平,等. 化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断[J]. 核聚变与等离子体物理,1992,012(003):186. |
| APA | 曹金祥,高克林,邹祖平,詹如娟,&项志遴.(1992).化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断.核聚变与等离子体物理,012(003),186. |
| MLA | 曹金祥,et al."化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断".核聚变与等离子体物理 012.003(1992):186. |
入库方式： OAI收割
来源：武汉物理与数学研究所
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