金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王春林2; 高克林1; 项志遴2; 彭定坤2; 孟广耀2; 詹如娟2 |
| 刊名 | 核聚变与等离子体物理
 |
| 出版日期 | 1992 |
| 卷号 | 012期号:002页码:124 |
| ISSN号 | 0254-6086 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.wipm.ac.cn/handle/112942/20701]  |
| 专题 | 中国科学院武汉物理与数学研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学院武汉物理与数学研究所 2.中国科学技术大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王春林,高克林,项志遴,等. 金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性[J]. 核聚变与等离子体物理,1992,012(002):124. |
| APA | 王春林,高克林,项志遴,彭定坤,孟广耀,&詹如娟.(1992).金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性.核聚变与等离子体物理,012(002),124. |
| MLA | 王春林,et al."金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性".核聚变与等离子体物理 012.002(1992):124. |
入库方式： OAI收割
来源：武汉物理与数学研究所
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