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非蒸散型吸气剂的研究进展

文献类型:期刊论文

作者颜攀; 韩兴博; 冷海燕; 刘卫
刊名真空科学与技术学报
出版日期2018-08-15
卷号38期号:08页码:650-656
关键词合金 非蒸散型吸气剂 激活温度 吸气剂性能
文献子类期刊论文
英文摘要

首先从Zr基非蒸散型吸气剂和Ti基非蒸散型吸气剂这两大分类介绍了非蒸散型吸气剂的发展历程,并比较了Zr、Ti基非蒸散型吸气剂的优缺点,然后从制备与改性方法两个方面,对非蒸散型吸气剂的研究现状进行系统性的介绍,并对非蒸散型吸气剂未来的研究方向进行了展望。研究发现,Zr、Ti基非蒸散型吸气剂的特性导致两者在主要的应用领域有所不同,两者的改性研究方向也有所不同。Zr基非蒸散型吸气剂未来的研究方向应集中在多种改性相结合的方法来扩展锆钒铁合金的应用领域和探索新型锆钒铁合金,Ti基非蒸散型吸气剂未来的研究重点应集中在改进其成膜工艺,或者探究新型的成膜法以代替传统的成膜法。值得注意的是降低Zr、Ti非蒸散型吸气剂的平台压没有引起足够的重视。

语种中文
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/31332]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2011-2017年
作者单位1.上海大学材料科学与工程学院
2.中国科学院上海应用物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
颜攀,韩兴博,冷海燕,等. 非蒸散型吸气剂的研究进展[J]. 真空科学与技术学报,2018,38(08):650-656.
APA 颜攀,韩兴博,冷海燕,&刘卫.(2018).非蒸散型吸气剂的研究进展.真空科学与技术学报,38(08),650-656.
MLA 颜攀,et al."非蒸散型吸气剂的研究进展".真空科学与技术学报 38.08(2018):650-656.

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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