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一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝

文献类型:专利

作者罗海瀚; 李耀鹏; 刘定权; 蔡清元; 蒋林
发表日期2016-10-13
专利号201610893673.3
著作权人中国科学院上海技术物理研究所
国家中国
文献子类发明专利
公开日期2019-04-02
源URL[http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12307]  
专题上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式
GB/T 7714
罗海瀚,李耀鹏,刘定权,等. 一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝. 201610893673.3. 2016-10-13.

入库方式: OAI收割

来源:上海技术物理研究所

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