基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘向阳; 徐国庆; 贾嘉; 孙艳; 李向阳 |
| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 38期号:3页码:331-337 |
| 关键词 | 碲镉汞 离子束 刻蚀轮廓 水平集方法 刻蚀速度减缓 深宽比 |
| DOI | 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.03.013 |
| 英文摘要 | 用水平集方法建立了碲镉汞的离子束刻蚀轮廓的数值模型,模型的输入参数包括掩膜厚度、掩膜侧壁倾角、掩膜沟槽宽度、离子束散角、刻蚀速度等参数.对碲镉汞的刻蚀轮廓和刻蚀速度减缓现象进行了模拟和实验验证,结果表明,在沟槽宽度为4～10 μm的范围内,计算得到的刻蚀深度和SEM测量结果相差6～20％.对掩膜的轮廓演变进行了模拟,给出了一个优化设计掩膜厚度来提高深宽比的实例. |
| WOS记录号 | WOS:473510300013 |
| 源URL | [http://202.127.2.71:8080/handle/181331/12370]  |
| 专题 | 上海技术物理研究所_上海技物所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘向阳,徐国庆,贾嘉,等. 基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟[J]. 红外与毫米波学报,2019,38(3):331-337. |
| APA | 刘向阳,徐国庆,贾嘉,孙艳,&李向阳.(2019).基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟.红外与毫米波学报,38(3),331-337. |
| MLA | 刘向阳,et al."基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟".红外与毫米波学报 38.3(2019):331-337. |
入库方式： OAI收割
来源：上海技术物理研究所
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