大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈忠雨; 尹韶云 ; 孙秀辉; 江海波; 杜春雷
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2018 |
| 卷号 | 55期号:4页码:042201 |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 英文摘要 | 大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备,由于采用复眼结合反射镜的非轴对称科勒照明光路,其曝光均匀度只有0.85左右,难以满足高精度加工制造的需求。针对此问题,提出了采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼,建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面型设计方法。光线追迹仿真实验结果显示,采用所提方法后曝光均匀度提高到了0.91以上,满足高精度加工制造所需的高曝光均匀度的要求。所设计的自由曲面复眼的面型连续,可以通过金刚石车削进行精密加工,有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。 |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/9107]  |
| 专题 | 集成光电技术研究中心 |
| 作者单位 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈忠雨,尹韶云,孙秀辉,等. 大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计[J]. 激光与光电子学进展,2018,55(4):042201. |
| APA | 陈忠雨,尹韶云,孙秀辉,江海波,&杜春雷.(2018).大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计.激光与光电子学进展,55(4),042201. |
| MLA | 陈忠雨,et al."大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计".激光与光电子学进展 55.4(2018):042201. |
入库方式： OAI收割
来源：重庆绿色智能技术研究院
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