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半導体装置及びその製造方法

文献类型:专利

作者川津 善平; 中山 毅
发表日期1998-12-04
专利号JP1998321956A
著作权人MITSUBISHI ELECTRIC CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体装置及びその製造方法
英文摘要【課題】 通電中の発熱による素子寿命の短縮を回避可能な半導体装置を得る。 【解決手段】 発光素子である半導体装置は、タングステン(W)、プラチナ(Pt)、クロム(Cr)等の融点が1300℃以上である高融点金属基板1と、この高融点基板1上に形成されたAlGaNバッファ層2と、バッファ層2上に形成されたn型GaNコンタクト層3と、n型コンタクト層3上に形成されたn型AlxGa1-xN(0≦xyGa1-yN(0≦yzGa1-zN(0≦z<1)クラッド層6と、p型クラッド層6上に形成されたp型GaNコンタクト層7と、p型コンタクト層7上に形成されたp型電極12とを具備するものである。
公开日期1998-12-04
申请日期1997-05-15
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83476]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MITSUBISHI ELECTRIC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
川津 善平,中山 毅. 半導体装置及びその製造方法. JP1998321956A. 1998-12-04.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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