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光半導体装置及びその製造方法

文献类型:专利

作者東 敏生; 藤井 卓也
发表日期2006-03-10
专利号JP3779040B2
著作权人富士通株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名光半導体装置及びその製造方法
英文摘要【課題】 良好な温度特性を実現し、直列抵抗が低いAlGaInAs/InP系の光半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 InP半導体基板10と、InP半導体基板10上に形成された活性層16と、活性層16上に形成され、InP半導体基板10に格子整合したp型AlInAsからなる第1クラッド層20と、第1クラッド層20上に形成され、PL波長が0.95μm〜1μmの範囲内にあり、InP半導体基板10に格子整合したp型InGaAsPからなる半導体層22と、半導体層22上に形成され、p型InPからなる第2クラッド層24とを有する。半導体層22は、第2クラッド層24をエッチングする際のエッチングストッパ層である。半導体層22と第1クラッド層20間のヘテロ障壁がほとんどない。
公开日期2006-05-24
申请日期1997-07-29
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83525]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士通株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
東 敏生,藤井 卓也. 光半導体装置及びその製造方法. JP3779040B2. 2006-03-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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