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III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者加藤 久喜; 小出 典克
发表日期2000-10-13
专利号JP2000286449A
著作权人豊田合成株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法
英文摘要(修正有) 【目的】 高品質のIII族窒化物系化合物半導体素子を再現性良く製造する方法を提供する。 【構成】 シリコン基板11の側壁を拡散防止層18で被覆した状態でIII族窒化物系化合物半導体を前記シリコン基板の上面に成長させる。
公开日期2000-10-13
申请日期1999-03-31
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/83668]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位豊田合成株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
加藤 久喜,小出 典克. III族窒化物系化合物半導体素子及びその製造方法. JP2000286449A. 2000-10-13.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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