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半導体レーザの製造方法

文献类型:专利

作者日向 進
发表日期2005-02-10
专利号JP3645664B2
著作权人三菱電機株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名半導体レーザの製造方法
英文摘要【課題】 高出力化が可能で、かつ信頼性が高い半導体レーザの製造方法を提供する。 【解決手段】 n型基板3の上面18にn型クラッド層4を形成する工程と、n型クラッド層4の上に活性層5を形成する工程と、活性層5の上にp型クラッド層6を形成する工程と、p型クラッド層6の上にp型コンタクト層を形成する工程と、活性層5の端面からなる出射面12にレーザ光15を照射することにより、出射面12に付着した不純物を除去する工程とを備える。
公开日期2005-05-11
申请日期1996-08-13
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/84220]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱電機株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
日向 進. 半導体レーザの製造方法. JP3645664B2. 2005-02-10.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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