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半導体発光素子及びその製造方法

文献类型:专利

作者岡田 直子; 穴山 親志
发表日期1993-11-05
专利号JP1993291683A
著作权人FUJITSU LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光素子及びその製造方法
英文摘要【目的】本発明は、利得導波型の可視光半導体レーザ及びその製造方法に関し、電流ブロック層で生じる漏れ電流を抑え、十分な電流狭窄が行える可視光半導体レーザ及びその製造方法を提供することを目的とする。 【構成】n-GaAs基板1上に、n-(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 Pクラッド層2が形成されている。その上にはアンドープのn-Ga0.5 In0.5 P活性層3が形成され、その上にはp-(Al0.7 Ga0.3 )0.5 In0.5 Pクラッド層4が形成され、その上部は幅3μmのストライプ状に形成されたメサ形状であり、クラッド層4のメサ上部には、p-Ga0.5 In0.5 P層のスパイク防止層6が形成されている。このメサ形状の両側を埋め込むように、アンドープのn-Al0.5 In0.5 P層の電流ブロック層5がMOVPE法により基板温度690℃で形成されている。この電流ブロック層5により電流狭窄が行われる。
公开日期1993-11-05
申请日期1992-04-10
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/84574]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FUJITSU LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
岡田 直子,穴山 親志. 半導体発光素子及びその製造方法. JP1993291683A. 1993-11-05.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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