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半導体発光素子

文献类型:专利

作者山本 基幸
发表日期1993-06-18
专利号JP1993152685A
著作权人TOSHIBA CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体発光素子
英文摘要【目的】 III-V 族基板上に発光層とこの発光層の両側にp形,n形光閉じ込め層を有するInGaAlP系半導体発光素子において、発光層に至るまでp形不純物イオン量を変えた打ち込みを行い、熱処理することによって、発光層の原子配列をかえそれぞれ異なる発振波長を短波長側に制御し得る半導体発光素子を集積化した多波長半導体発光素子アレイを提供することにある。 【構成】 MOCVD成長法でGaAs基板上にInGaAlP系n形クラッド層,アンドープInGaP発光層,p形InGaAlPクラッド層,n形GaAs層を連続成長後、n形GaAsの一部を幅5μmのストライプ状に除去した部分にZnイオンの量を変え加速電圧1MeVで発光層まで注入し、MOCVDでp形GaAs層を成長させ同一基板上に素子間隔を100μmとした多波長半導体発光素子アレイ。 【効果】 イオン注入量を変え注入後、熱処理して発光層の禁制帯幅を大きくすることにより閾値電流が58,60,65mAで発振波長680,675,670nmの可視光半導体発光素子を得た。
公开日期1993-06-18
申请日期1991-12-02
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/84782]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位TOSHIBA CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
山本 基幸. 半導体発光素子. JP1993152685A. 1993-06-18.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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