光導波路、光モジュール及び光導波路の製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 荒木田 孝博; 中田 英彦; 成瀬 晃和; 大久保 美和; 山田 和義; 江口 百子 |
| 发表日期 | 2006-12-28 |
| 专利号 | JP2006349861A |
| 著作权人 | SONY CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路、光モジュール及び光導波路の製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】シート状の光導波路の変形を抑制できるようにする。 【解決手段】光導波路1Aは、コア4とクラッド層5を備えた平面型の導波路シート2Aの表面に、支持基板3Aが取り付けられる。支持基板3Aは、コア4の並び方向に延在し、導波路シート2Aの両端に取り付けられる。導波路シート2Aは、所定のパターンでコア4を形成してウェハ基板上に作製され、支持基板3Aを取り付けた後、ウェハ基板から剥離されて光導波路1Aが作製される。これにより、ウェハ基板からの剥離時に、導波路シート2Aの変形が、支持基板3Aで抑制される。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2006-12-28 |
| 申请日期 | 2005-06-14 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85142]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SONY CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 荒木田 孝博,中田 英彦,成瀬 晃和,等. 光導波路、光モジュール及び光導波路の製造方法. JP2006349861A. 2006-12-28. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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