集積干渉計
文献类型：专利
| 作者 | 入田 丈司 |
| 发表日期 | 1996-10-11 |
| 专利号 | JP1996261714A |
| 著作权人 | 株式会社ニコン |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集積干渉計 |
| 英文摘要 | 【目的】基板内の光学系の構成が単純で、しかも、半導体レーザーを安定に動作させることのできる集積干渉計を提供する。 【構成】第1の方向および第2の方向に光を出射する半導体レーザー11と、半導体レーザー11より第1の方向に出射された光を伝搬する第1の光導波路13と、半導体レーザー11より第2の方向に出射され、測定対象で反射された光と、第1の光導波路13を伝搬した光と干渉させる干渉部18、14とを同一基板1上に備える。 |
| 公开日期 | 1996-10-11 |
| 申请日期 | 1995-03-24 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85159]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 株式会社ニコン |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 入田 丈司. 集積干渉計. JP1996261714A. 1996-10-11. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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