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半導体レーザおよびその製造方法

文献类型:专利

作者山田 美保; 高橋 康仁; 久保 実; 佐々井 洋一
发表日期1995-02-14
专利号JP1995045900A
著作权人MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名半導体レーザおよびその製造方法
英文摘要【目的】 低温で形成した良質な絶縁膜を備えた半導体レーザを提供する。 【構成】 n型GaAs基板1上にn型Zn1-xMgxSySe1-yクラッド層2、n型ZnS0.07Se0.93ガイド層3、アンドープCd0.1Zn0.9Se活性層4、p型ZnS0.07Se0.93ガイド層5、p型Zn1-xMgxSySe1-yクラッド層6、p型ZnSeキャップ層7を順次形成する。溝13を形成する。溝13およびp型ZnSeキャップ層7上にLPD膜8を形成する。リッジ部14上のLPD膜を取り除く。LPD膜を取り除いたリッジ部14上にAu電極9を形成する。LPD膜8およびAu電極9上にCr電極10を形成する。Cr電極10上にAu電極11を形成する。n型GaAs基板1側にIn電極12を形成する。
公开日期1995-02-14
申请日期1993-07-27
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85170]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
山田 美保,高橋 康仁,久保 実,等. 半導体レーザおよびその製造方法. JP1995045900A. 1995-02-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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