一种半导体激光加工系统
文献类型：专利
| 作者 | 汪楠; 徐昕 ; 赵亚平; 陈晴; 林学春; 杨盈莹; 于海娟
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| 发表日期 | 2016-08-31 |
| 专利号 | CN105904085A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种半导体激光加工系统 |
| 英文摘要 | 一种半导体激光加工系统，包括：用于产生激光的半导体激光装置以及光路部分，光路部分包括：依次设置的第一双折射晶体、偏振旋转器、二分之一波片、以及第二双折射晶体；其中，所述激光正向通过所述光路部分后，对加工件进行加工，而由所述加工件反射形成的反馈光逆向通过所述光路部分后，沿与所述激光平行且偏移预设距离的方向出射，避免了反馈光返回半导体激光器造成的不良影响。 |
| 公开日期 | 2016-08-31 |
| 申请日期 | 2016-07-07 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85354]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪楠,徐昕,赵亚平,等. 一种半导体激光加工系统. CN105904085A. 2016-08-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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