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Ⅲ族氮化物半导体激光元件、及制作Ⅲ族氮化物半导体激光元件的方法

文献类型:专利

作者善积祐介; 高木慎平; 盐谷阳平; 京野孝史; 足立真宽; 上野昌纪; 住友隆道; 德山慎司; 片山浩二; 中村孝夫
发表日期2012-10-03
专利号CN102714397A
著作权人住友电气工业株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名Ⅲ族氮化物半导体激光元件、及制作Ⅲ族氮化物半导体激光元件的方法
英文摘要本发明提供一种在六方晶系III族氮化物的c轴朝m轴的方向倾斜的支持基体的半极性面上,具有较高的振荡良率的激光共振器的III族氮化物半导体激光元件。成为激光共振器的第1及第2割断面27、29与m-n面交叉。III族氮化物半导体激光元件11具有在m-n面与半极性面17a的交叉线的方向上延伸的激光波导。因此,可利用能够成为低阈值电流的带间跃迁的发光。在激光构造体13中,第1面13a为第2面13b的相反侧的面。第1及第2割断面27、29从第1面13a的边缘13c延伸至第2面13b的边缘13d为止。割断面27、29并非通过干式蚀刻形成,与c面、m面或a面等以往的裂面不同。
公开日期2012-10-03
申请日期2010-12-28
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85418]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位住友电气工业株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
善积祐介,高木慎平,盐谷阳平,等. Ⅲ族氮化物半导体激光元件、及制作Ⅲ族氮化物半导体激光元件的方法. CN102714397A. 2012-10-03.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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