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面発光型半導体レーザ

文献类型:专利

作者山本 将央; 吉川 昌宏; 近藤 崇
发表日期2013-12-20
专利号JP5435008B2
著作权人富士ゼロックス株式会社
国家日本
文献子类授权发明
其他题名面発光型半導体レーザ
英文摘要(修正有) 【課題】電流経路の電気抵抗の低減を図りつつ横モード制御が可能なVCSELを提供する。 【解決手段】VCSEL10、基板12上に形成され、Alを構成元素とする半導体被酸化層32を含む下部DBR14と、活性領域16と、ポストPに加工された上部DBR18とを備える。下部DBR14には、ポストPの外側において、その表面から半導体被酸化層32に到達する複数の孔30が形成されている。半導体被酸化層32には、孔30の側面から選択的に酸化された酸化領域34が形成されている。下部DBR14には、酸化領域34によって囲まれた非酸化領域(導電領域)による電流経路K1に加えて、酸化領域34を回り込むような電流経路K2が形成されている。 【選択図】図1
公开日期2014-03-05
申请日期2011-10-24
状态授权
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85419]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士ゼロックス株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
山本 将央,吉川 昌宏,近藤 崇. 面発光型半導体レーザ. JP5435008B2. 2013-12-20.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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