基于半导体激光器组件的四自由度光学测头
文献类型：专利
| 作者 | 苗恩铭; 高保林; 庄鑫栋; 董云飞 |
| 发表日期 | 2016-07-06 |
| 专利号 | CN105737765A |
| 著作权人 | 合肥工业大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 基于半导体激光器组件的四自由度光学测头 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种基于半导体激光器组件的四自由度光学测头。包括测头机构和靶镜机构；测头机构包括半导体激光器、四象限光电探测器、二维PSD位置敏感探测器、光隔离器和平凸透镜；靶镜机构包括半透半反镜和角锥棱镜；用于测量时，测头机构固定设于工作台上，靶镜机构固定设于动力头的主轴上。半导体激光器发出的光束经偏振分光棱镜后分为两束，其中一束光入射在半透半反镜上，50%的光会透过半透半反镜入射到角锥棱镜，再经角锥棱镜反射到四象限探测器上，用作测量二维直线位移X、Y的参考光束。入射到半透半反镜上的另一半光束会沿原路返回再次入射到分光镜被垂直反射到平凸透镜，再经平凸透镜准直聚焦入射到二维PSD上，用作角度误差（俯仰角，偏摆角）的参考光束。 |
| 公开日期 | 2016-07-06 |
| 申请日期 | 2016-04-06 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85448]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 合肥工业大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 苗恩铭,高保林,庄鑫栋,等. 基于半导体激光器组件的四自由度光学测头. CN105737765A. 2016-07-06. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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