光纤阵列线路发生器
文献类型：专利
| 作者 | 道格拉斯·E·霍姆格伦; 塞缪尔·C·豪厄尔斯; 阿伦·缪尔·亨特; 西奥多·P·莫菲特; 迪瓦卡尔·N·科德拉雅 |
| 发表日期 | 2016-07-27 |
| 专利号 | CN105814758A |
| 著作权人 | 应用材料公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光纤阵列线路发生器 |
| 英文摘要 | 在此所描述的具体实施方式涉及基板的快速热处理。光纤耦合激光二极管阵列设置于光学系统中，所述光学系统经配置以在基板表面上产生均匀辐照图案。多个单独可控的激光二极管经由多个光纤而与一个或多个透镜光学耦接。所述光纤耦合激光二极管阵列产生高斯辐射分布，所述高斯辐射分布经透镜散焦而产生均匀强度图像。在一个具体实施方式中，场光阑设置于所述光学系统内。 |
| 公开日期 | 2016-07-27 |
| 申请日期 | 2014-11-25 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86069]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 道格拉斯·E·霍姆格伦,塞缪尔·C·豪厄尔斯,阿伦·缪尔·亨特,等. 光纤阵列线路发生器. CN105814758A. 2016-07-27. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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