用于均匀化基于激光二极管的单轴照明系统的单轴光导管
文献类型：专利
| 作者 | 布鲁斯·E·亚当斯; 迪安·詹宁斯; 阿布拉什·马约尔; 维吉·帕里哈; 约瑟夫·M·拉内什 |
| 发表日期 | 2007-10-31 |
| 专利号 | CN101065694A |
| 著作权人 | 应用材料股份有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 用于均匀化基于激光二极管的单轴照明系统的单轴光导管 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种用于处理半导体晶圆的装置，包括：设置在沿着慢轴延伸的多个平行的行上的半导体激光发射器阵列；多个单独的圆柱形透镜，其设置在激光发射器的行的各自其中之一之上，并用于沿着通常与慢轴垂直的快轴准直来自各自行的光；均匀化的光导管，其具有用于在第一端部接收由多个圆柱形透镜准直的光的输入面以及位于相对端的输出面，光导管包括一对在输入面和输出面之间延伸并且沿着慢轴的方向彼此分开的反射表面；以及扫描装置，其用于使得发射自均匀化光导管的光在与快轴平行的扫描方向上扫描晶圆。 |
| 公开日期 | 2007-10-31 |
| 申请日期 | 2005-10-12 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86332]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 应用材料股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 布鲁斯·E·亚当斯,迪安·詹宁斯,阿布拉什·马约尔,等. 用于均匀化基于激光二极管的单轴照明系统的单轴光导管. CN101065694A. 2007-10-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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