基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器及激光器阵列
文献类型:专利
作者 | 郑吉林; 李玮淳; 陈向飞 |
发表日期 | 2014-04-23 |
专利号 | CN103746288A |
著作权人 | 南京大学 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器及激光器阵列 |
英文摘要 | 本发明公开了一种基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器,激光器腔内的光栅采用叠印啁啾光栅结构,由两个完全相同纳米精度的啁啾光栅在激光器腔内纵向排列组成;两个啁啾光栅级联或者重叠写入。两个完全相同的啁啾光栅在激光器光栅层纵向叠印后,可以以这两个光栅为反射面形成分布式谐振腔,从而产生多波长激射。为了降低加工成本,引入重构-等效啁啾技术(REC技术),将加工精度要求从亚纳米降低到亚微米,本发明还提供两种DFB半导体激光器单片集成的激光器阵列。基于REC技术的叠印啁啾结构的多波长DFB半导体激光器,采用采样布拉格光栅替代普通布拉格光栅,用等效光栅来实现叠印啁啾结构,降低了工艺的复杂程度,也提高了成品率。 |
公开日期 | 2014-04-23 |
申请日期 | 2013-12-23 |
状态 | 授权 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86375] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 南京大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑吉林,李玮淳,陈向飞. 基于叠印啁啾结构的DFB半导体激光器及激光器阵列. CN103746288A. 2014-04-23. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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