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激光散斑相移检测头及其应用

文献类型:专利

作者曾启林; 谢雷; 何仕斌; 翁家雄; 孙清勇
发表日期2007-12-26
专利号CN101093197A
著作权人广州华工百川科技股份有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名激光散斑相移检测头及其应用
英文摘要本发明提供了一种激光散斑相移检测头,包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜,半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上;扩束镜设于半导体激光器前端,与半导体激光器位于同一光轴上,且扩束镜与半导体激光器连成一体;光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体,且位于同一光轴上,光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器,剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头,光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体,且位于同一光轴上;半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2°~20°。本检测头的检测结果比干涉条纹图对比度更明显,更利于缺陷判断。
公开日期2007-12-26
申请日期2007-07-20
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86399]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位广州华工百川科技股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
曾启林,谢雷,何仕斌,等. 激光散斑相移检测头及其应用. CN101093197A. 2007-12-26.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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