金锡薄膜的制备装置和方法
文献类型：专利
| 作者 | 孙广伟; 辛国锋; 皮浩洋; 封惠忠; 于阿滨; 蔡海文; 瞿荣辉 |
| 发表日期 | 2015-01-21 |
| 专利号 | CN104294218A |
| 著作权人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 金锡薄膜的制备装置和方法 |
| 英文摘要 | 一种金锡薄膜制备装置和方法，该装置包括蒸发室、公转轴、公转盘、固定轴、工件架、推杆、支撑架、滑槽、电极和蒸发舟，通过推杆的移动推动Au球和Sn球沿着滑槽滚动落到蒸发舟上从而实现AuSn薄膜的制备，本发明可以精确控制AuSn薄膜中Au和Sn的厚度和比例，得到的薄膜具有结构致密、成分分布均匀的特点，在半导体激光器封装领域具有很高的应用价值。 |
| 公开日期 | 2015-01-21 |
| 申请日期 | 2014-10-23 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86456]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙广伟,辛国锋,皮浩洋,等. 金锡薄膜的制备装置和方法. CN104294218A. 2015-01-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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