光導波路の作製プロセス
文献类型：专利
| 作者 | ムハメッド アッシュラファル アラム; マーク エス. ハイバートセン; ルーズベルト ピープル |
| 发表日期 | 2000-02-18 |
| 专利号 | JP2000047047A |
| 著作权人 | ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光導波路の作製プロセス |
| 英文摘要 | (修正有) 【課題】 光導波路の作製プロセスを提供する。 【解決手段】 導波路は化合物半導体材料で、化学気相堆積を用いて、基板上に堆積させる。誘電体マスクはマスクに近接した基板の領域中に、化合物材料が堆積する速度に影響を与える。従って、選択されたマスク寸法を用いて形成された導波路の分布は、モデル化され、所望の分布と比較される。もしモデル化された分布が所望の分布と許容できるほど同様でないなら、マスクの寸法は修正される。修正されたマスク寸法を用いて形成された導波路の分布は、再びモデル化され、モデル化された導波路分布は、所望の導波路分布と比較される。モデル化された分布が所望の分布と十分同様になるまで、このプロセスがくり返される。マスク寸法が選択された後、マスクが基板上に形成され、選択領域成長を用いて、基板上に化合物半導体導波路が形成される。 |
| 公开日期 | 2000-02-18 |
| 申请日期 | 1999-06-17 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86605]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | ルーセント テクノロジーズ インコーポレーテッド |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ムハメッド アッシュラファル アラム,マーク エス. ハイバートセン,ルーズベルト ピープル. 光導波路の作製プロセス. JP2000047047A. 2000-02-18. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。