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光半導体素子およびその製造方法

文献类型:专利

作者遠山 政樹; 平山 雄三
发表日期1997-09-22
专利号JP1997252160A
著作权人TOSHIBA CORP
国家日本
文献子类发明申请
其他题名光半導体素子およびその製造方法
英文摘要【課題】 寄生容量と直列抵抗を同時に低減可能な狭メサ構造を自己整合的に実現することにより、電気信号により高速変調可能な光半導体素子を低コストで提供する。 【解決手段】 断面略T字形状であるストライプ状のクラッド層を有しており、クラッド層の足部は(111)結晶面を側面とする逆メサ形状を呈していることを特徴とする。
公开日期1997-09-22
申请日期1996-03-18
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86638]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位TOSHIBA CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
遠山 政樹,平山 雄三. 光半導体素子およびその製造方法. JP1997252160A. 1997-09-22.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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